凈化車間空氣過濾方案,凈化車間中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。空氣過濾器的選用安置和裝置方法,應契合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜會集設置在凈化空氣調節體系的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節體系末端,高效空氣過濾的裝置方法應簡便牢靠,宜檢漏和替換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。斷定會集或渙散式凈化空氣調節體系時,應綜合考慮生產工藝的特色和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、方位等要素。凡生產工藝接連、無塵室或凈化車間面積較大時,方位會集以及噪聲操控和振動操控要求嚴厲的潔凈室,宜采用會集式凈化空氣調節體系。









空氣風淋室安裝時,根據設計的坐標位置或土建施工預留的位置進行就位;設備的地面應水平、平整,在設備的底部與地面接觸的平面,應根據設計要求墊隔振層,使設備保持縱向垂直、橫向水平;設備的機械、電氣連鎖裝置應處于正常狀態,風機與電加熱、內外門及內門與外門的連鎖等;設備與圍護結構連接的接縫,應配合土建施工做好密封處理。

凈化車間工程中有哪些需要關注的細節。企業保證生產環境是非常必要的。例如,工廠選址、總平面設計、車間布局、設備選型、生產和產品質量管理等“大問題”是重要的監控點。然而,在10萬級凈化車間項目的設計和實施中,半導體凈化工程施工,有一些細節需要特別注意。空調凈化中需要注意的節能。10萬級凈化車間工程空調凈化是一項主要的能源消耗,在設計和施工中應采取節能措施。在設計中,系統和面積的劃分、供氣量的計算、溫度和相對溫度的確定、潔凈水平和換氣率的確定、新風比、風管的保溫、風管制造中咬口形式對漏風率的影響、主支管連接角度對氣流阻力的影響、法蘭連接是否漏氣、空調箱、風機、冷水機組等設備的選擇都與能耗有關。因此,在100,000級凈化車間項目中必須考慮這些細節。


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